益处
- 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐陶瓷传感器
- 卓越的长期信号稳定性
- 温度补偿
- 传感器防污染保护
- 一键调零功能
- 电源范围广
典型应用
- 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
- 数据存储和显示制造设备
- 工业真空设备
- 常规高精度压力测量
规格
| 类型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 温度效应 | ||||||
| 零点 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 压力，最大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| 最低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建议的最低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建议的最低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | ||||||
| 运行（环境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法兰处烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 电源电压 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | |
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