功能

• HYDRO-S（氢气抑制）可确保快速满足所有测试条件。
• I-CAL（智能 - 泄漏率计算法）确保了在所有测量范围中提供快速泄漏响应。
• 特殊的多入口涡轮分子泵可提供优化的较高氦气抽气能力及全压力范围内的高氦气压缩比，实现了卓越灵敏度、响应度和快速清洁性。
• 增压涡轮分子泵可对所有测试对象做出极快响应，包括最大容量和腔室。
• 经现场验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪多年以来的精确、可重复结果实现了无故障、免维护的设计。
• 自保护功能可防止 UL5000 受到氦气和微粒的污染，自动吹扫循环可确保 UL5000 的随时可用性。
• 旋转式显示器/控制界面和可选配的手持遥控器实现了操作灵活性。
• 装置和系统软件的访问控制可通过软件激活，防止未授权使用或测试设置的意外修改。
• 通过电子邮件进行的软件更新可确保您的 UL5000 发挥最佳性能。
• 具有最佳高度工作面的工作站设计以及 ESD 台垫和工具箱实现了测试便利性。

典型应用

• 半导体和平板显示装置上使用的测漏部件、配件和大型腔室
• 检漏半导体和平板工具
• 检漏航空部件、配件和系统
• 检漏储存容器/储存罐

规格