益处
-
在恶劣环境下，使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护- 可换插头
- 超紧凑尺寸
- 可靠的快速点火
- 抗腐蚀馈入装置
- 可选测量电流
典型应用
- 基本压力监视和控制，在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
- 一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
- 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。
规格
| 类型 | MAG50x | MPG50x | |
|---|---|---|---|
| 测量系统 | Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) | Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) | |
| 测量范围（空气、氮气） | 1×10-9 … 1×10-2 | 1×10-9 … 1000 | |
| 准确度 (N2) | |||
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 30 | 30 |
| 1×10-2 … 100 毫巴 | % of reading | - | 30 |
| 100 … 1000 毫巴 | % of reading | - | 50 |
| 可重复性 (N2) | |||
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 5 | - |
| 1×10-8 … 100 毫巴 | % of reading | - | 5 |
| 安装定位 | any | any | |
| 容许压力 | bar (absolute) | 10 (limited to inert gases <50°C) | 10 (limited to inert gases <50°C) |
| 容许温度 | |||
| 运行（环境） | °C | +5 ... +55 | +5 ... +55 |
| 法兰烘烤 (1) | °C | <150 | <150 |
| 储存 | °C | -40 ... +70 | -40 ... +70 |
| 灯丝温度 | °C | - | 120 |
| 一年 30 天的相对湿度 | |||
| 1×10-7 … 1×10-2 毫巴 | % | <95 (non-condensing) | <95 (non-condensing) |
| 1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % | <70 (non-condensing) | <70 (non-condensing) |
| 供电电压 | |||
| 在量规 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 | +14.5 ... +30 |
| 波纹 | V (p-p) |
<1 |
<1 |
| 功耗 | W | <2 | <2 |
| 待连接的保险丝 | AT | <1 | <1 |
| 电压范围 | |||
| 模拟输出 | V | 0 ... +10.5 | 0 ... +10.5 |
| 测量范围 | |||
| 3MAx-00x-0x0N | V | +1.5 ... +8.5 | - |
| 3MBx-00x-0x0P | V | - | +1.398 ... +8.598 |
| 3MAx-00x-0x0Q | V | +0.667 ... +10 | - |
| 电压比压力 | |||
| 3MAx-00x-0x0N | volts per decade | 1 (logarithmic) | |