益处
- BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性
- 10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
- 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
- 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | BCG450 | |
|---|---|---|
| 测量范围 | 5×10-10 … 1500 | |
| 精度 | ||
| 10-8 … 50 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 毫巴 | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 毫巴 | % of reading | ±2.5 |
| 可重复性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 热离子发射 | mbar | 2×10-2 (high) |
| （可选高/低，通过 RS232 / 现场总线） | mbar | 8×10-3 (low) |
| 除气 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 压力，最大 | bar (absolute) | 5 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
| 电源电压 | 20 … 28 | |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … 10.3 |
| 测量范围输出 | V | 0.774 … 10.3 |
| 电压与压强之间的关系 | volts per decade | 0.75 |
| 错误信号 | V | 0.3 / 0.5 |
| 最小负载 | kΩ | 10 |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度，最大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
| 保护等级 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可视通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
| 技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 从属传讯 | polling only | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | ||
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