益处
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
- 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
- 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
- 工业镀膜
- 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | HPG400 | |
|---|---|---|
| 测量范围（空气，N2） | 2×10-6 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
| 可重复性 | ||
| 10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
| 热离子发射，可选： | ||
| 选购件 1 | mbar | 1 |
| 选购件 2 | mbar | 5×10-1 |
| 选购件 3 | mbar | 2×10-1 |
| 选购件 4 | mbar | 1×10-1 |
| 选购件 5 | mbar | 5×10-2 |
| 压力，最大 | bar (absolute) | 2 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
| 电源电压 | 20 … 28 | |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … +10.2 |
| 测量范围热阴极 | V | 1.5 … 7.5 |
| 测量范围皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
| 电压比压强热阴极 | volts per decade | 1 |
| 电压与压强皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
| 错误信号热阴极 | V | 0.3 |
| 错误信号皮拉尼 | V | 0.5 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10 |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度，最大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
| 重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
| 保护等级 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可视通信指示器 | ||
HPG400 大气压至高真空真空计 点击下载
