益处
- 卓越的满量程稳定性 – 与气体类型无关
- 防腐氧化铝传感器
- 设计紧凑，在同类产品中尺寸最小
- 便于集成，可在任意方向安装
- 数字信号处理
- 无需维修
典型应用
- 真空镀膜
- 真空监控
- 消毒
- 食品与包装
- 真空炉，拉晶器
- 分析的
- 化学真空过程
规格
| 类型 | 10 ... 1000 Torr / mbar | |
|---|---|---|
| 精度 (1) | ||
| 3CA3-xxx-xxx | % of reading | 1 |
| 3CA4- | % of reading | 0.5 |
| 温度效应 | ||
| 零点 | percent FS/°C | 0.02 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.02 |
| 分辨率 | percent FS | 0.05 |
| 长时间稳定性 | percent FS/yr. | 0.5 |
| 最低读数 | percent FS | 0.05 |
| 温度补偿范围 | °C | +10 … +50 |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +70 |
| 在法兰处烘烤 (2) | °C | ≤110 |
| 贮存 | °C | –20 … +85 |
| 环境湿度限值 | percent RH | <80%, non-condensing |
| 电源电压 | V (dc) | +13 … +30 |
| 功耗 | W | ≤0.3 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 最大输出电压 | V (dc) | +10.24 |
| 反应时间 (3) | ms | 100 |
| 保护等级 |
|
IP 40 |
| 标准 | ||
| CE 合规 |
|
EMC (EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS |
| ETL 认证 |
|
UL 61010‑1, CAN/CSA C22.2 No.61010‑1 |
| SEMI 合规 |
|
SEMI S2 |
| 电气连接 | ||
| 3CAx-xxx-0000 |
|
FCC, 8-pin |
| 3CAx-xxx-0100 |
|
D-Sub, 9-pin, male |
| 3CAx-xxx-0A00 |
|
Binder M12, 8-pin, male |
| 暴露于真空的材料 |
|
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel 1.4404 (AISI 316L) |
| 密封度 | mbar•L/s | <1×10-9 |
| 安装定位 |
|
any |
| 内部容积 | ||
| 1/2" tube | cm³ (in.³) | 3.6 (0.219) |
| DN 16 ISO-KF | cm³ (in.³) | 3.7 (0.226) |
| DN 16 ISO-CF | cm³ (in.³) | 5.0 (0.305) |
| 4 VCR 阳性 | cm³ (in.³) | 6.1 (0.372) |
| 4 VCR 阴性 | cm³ (in.³) | 5.6 (0.342) |
| 8 VCR 阴性 | cm³ (in.³) | 5.1 (0.311) |
| 重量 | ||
| 1/2" tube | g | ~94 |
| DN 16 ISO-KF | g | ~110 |
| DN 16 ISO-CF | g | ~135 |
| 4 VCR 阳性 | g | ~123 |
| 4 VCR 阴性 | g | ~133 |
| 8 VCR 阴性 | g | ~159 |
| 维修 |
|
none |
(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。
(2) 非运行
(3) 增加 10 ... 90% FS
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