技术先进，经济实惠，可对单层或多层薄膜进行速率控制
立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。XTC/3 带有专利 ModeLock，提供跳模预防功能，确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器，您可以高度精确地控制沉积速率和厚度，获得几乎适用于所有层的容量，而且控制器安装简便，具有极高可靠性，可确保高生产力。
INFICON 是薄膜沉积控制领域的全球领导者，现在提供的这款仪器具有极低的拥有成本，可为客户带来空前的价值。
无论您需要的是生产、研发还是开发方面的控制，您都将发现 INFICON XTC/3 能够完美满足您的需求。
| 类型 | XTC3/S | XTC3/M | |
|---|---|---|---|
| 频率分辨率 |
±0.028 Hz @ 6 MHz |
±0.028 Hz @ 6 MHz |
|
| 测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 测量周期 | 0.25 seconds | 0.25 seconds | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.034 Å | ±0.034 Å | |
| 测量技术 | ModeLock | ModeLock | |
| 过程数量 | 1 | 99 | |
| 层数 | 1 | 999 | |
| 材料计划（或薄膜）数量 | 9 | 32 | |
| 传感器输入数量 | 2 | 2 | |
| CrystalSix / Crystal 12 传感器支持 | Yes | Yes | |
| 支持 XTAL 2 开关 | Yes | Yes | |
| 来源输出数量 | 2 | 2 | |
| 计算机通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | |
| 最大 RS232 波特率 | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud | |
| 自动晶体转换 | Yes | Yes | |
| 继电器数量 | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable | |
| 可编程继电器功能数量 | 1 | 1 | |
| 每个继电器的功能 | 1 | 1 | |
| 继电器额定电压 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | |
| 输入数量 | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max | |
| 可编程输入功能数量 | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable | |
| 记录器输出数量 | 1 | 1 | |
| 手动电源 / 手持控制器 | Yes | Yes | |
| 排气管风扇 | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan | |
| 测试模式 | Yes | Yes | |
| 闸门延迟 | Yes | Yes | |
| 二次成型模具 | Yes | Yes | |
| 外壳尺寸 | half rack, 2U high | half rack, 2U high | |
| 速率和厚度显示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | ||
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