功能
- 双丝极
- 可现场更换电子倍增器
- 可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
- 可调换传感器和电子元件
- TCP/IP 以太网连接
- 较短的传感器可降低安装占地面积
- 九个数量级的动态量程
- 模拟扫描和所选峰值的 3 ms 最高每点数据率
- <1.5E-14 Torr 的 MDPP
- 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
- 符合 RoHS 标准
规格
| 类型 | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | |
|---|---|---|---|---|---|
| 传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | |
| 检测器类型 | FC | EM | FC | EM | |
| 灵敏度 (FC) | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | |
| 灵敏度 (EM) | NA | 500 amps/Torr | NA | 500 amps/Torr | |
| 最小可检测分压 | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | |
| 最高传感器工作温度(FC) | 200 °C | NA | 200 °C | NA | |
| 最高传感器工作温度(EM) | NA | 150 °C | NA | 150 °C | |
| 丝极类型选件 | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | |
| 分辨率 (1) | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | <1 amu Wide | |
| 温度系数 (2) | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | <1% per °C | |
| 最高每点数据率 | 3 ms | 3 ms | 3 ms | 3 ms | |
| 零冲击（位于质量 2） | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| 最大工作压力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 最高烘烤温度 | 300 °C | 300 °C | 300 °C | 300 °C | |
| 功率输入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 位于峰值高度的 10%
(2) 时长 8 小时，半小时预热时间；仅适用于 FC 模式
INFICON MPS 残余气体分析仪 点击下载
