益处
- 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
- 测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
- 不会出现单丝烧毁的现象
- 卓越的点火属性
- 易于清洁
- FPM 或金属密封馈入装置
- 高压 LED 指示灯
- 对数模拟输出信号
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发系统和溅射系统的基本压力
- 中高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
|---|---|---|---|
| 测量范围（空气，N2） | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
| 精度 (N2) | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
| 可重复性 | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
| 安装定位 |
|
any | any |
| 容许压力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 容许温度 | |||
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
| 单丝温度（皮拉尼） | °C | 120 | 120 |
| 电源电压 | |||
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
| 可连接的保险丝 | AT | ≤1 | ≤1 |
| 输出信号（测量信号） | |||
| 电压范围 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
| 测量范围 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
| 电压与压强 |
|
logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade |
| 错误信号 | |||
| 无电源 | V | <0.5 | <0.5 |
| 皮拉尼传感器，单丝断裂 | V | >9.5 | >9.5 |
| 输出电阻 | Ω | 2 x 10 | 2 x 10 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
| 反应时间 | |||
| p > 10-6 毫巴 | ms | <10 | <10 |
| p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
| 识别真空计 |
|
85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common |
| 状态 | |||
| 仅皮拉尼模式 | V | ||
MPG40x 大气压至超高真空真空计 点击下载
